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THA3主动减振器

发布时间:2025.08.20 阅读量:208

THA3主动减振器
详细介绍

产品特性:

    ·布置方式灵活。减振系统一般包含3或4个主动减振器,可根据需求灵活布置,包括正三角形、等腰三角形、矩形分布等:也可加配被动减振器提升减振系统负载能力。

    ·采用前馈及反馈控制技术,采用高算力处理器、亚毫秒级制动器,进行6自由度抑振控制,具有极佳的隔振、减振能力。

    · 配置有运动前馈控制,快速整定台面上部件运动带来的冲击扰动,缩短台面稳定时间及平台作业节拍时间,有效提升作业效率。

    · 友好的人机交互界面,无需专业知识,一键启动减振。提供上位机程序向用户开放调试通道,便于追求极致性能的用户自行调试。


产品结构说明:


 

产品用途:

    纳米级运动平台、半导体设备、精密加工设备、显微测量等
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