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THA3主动减振器
发布时间：2025.08.20 阅读量：1530
- 所属分类：THA系列主动减振器
- 点击次数：1530
- 发布日期：2025/08/20
详细介绍
产品特性：
- THA3系列主动减振器采用空气弹簧作为被动隔振单元，搭配不同推力的音圈电机，适用于微动平台及动平台。
- 提供手动调平和自动调平两种方式，轻松快捷调平。
- 采用地面前馈、运动前馈及反馈控制技术，进行6自由度振动主动控制，对地面低频振动，平台运动带来的振动具有极佳的衰减能力，适用于超精密设备减振
- 采用先进的智能控制算法，兼顾减振性能和鲁棒性。可靠性高抗干扰能力强，适用于各类环境，无需频繁调整即可保持最优性能。
- 友好的人机交互界面，无需专业知识，一键启动减振。向用户开放调试通道，便于用户快捷方便自行调试。
产品结构说明：
产品用途：
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晶圆检测设备、光刻设备、半导体检测设备、高精度运动平台等
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