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· 结构紧凑,布置距离可调,在6英寸尺寸范围内设计了高效的减振结构,在最大程度上利用了尺寸空间,使得执行器力矩最大化。
· 小尺寸的模块化的主动减振器,使得SEM电镜内置主动减振成为可能。
· 可按需求实现灵活多变的布局/安装方式,如内置于设备中,置于设备地脚下,可以构建出各种尺寸和类型的主动减振系统,以满足不同应用场景的需求。
· 6自由度振动信号实时检测,执行器提供推力,主动衰减振幅;
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