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THA系列主动减振器

发布时间:2021.10.29 阅读量:8921

THA系列主动减振器
详细介绍

产品特性:

    三思减振THA系列主动减振器主要应用于一些对微振敏感的高端检测设备,针对于AFM和SEM而开发的高端主动减振器

    当长时间的图像采集和持续的探针测量,就需要稳定的微振解决设备。同时,一些高分辨率的显微镜,为得到清晰的图像,也需配备微振解决设备。其在六个自由度方向均有非常好的减振性能,为进行纳米测量提供有效的解决方案。

    产品特点:

    ·轻巧便捷,安装方便,无需气源,接入电源即可使用
    ·手动/自动调节水平,操作简便
    ·6自由度振动信号实时检测,执行器提供推力,主动衰减振幅

    ·实时监控台面振动

    产品应用:

    显微镜、光学设备、检测设备等

    传递率



    规格参数


    产品特点:

    ·THA2系列气浮式主动减振,针对扫描电镜、透射电镜、扫描隧道显微镜等超精密设备而研发
    ·采用三思高端型气浮减振器进行基础隔振,即使在安装现场环境有不规律的冲击振动时,也能确保持续的振动稳定性

    ·三思自研的THA主动减振系统,实现6自由度主动减振。前馈控制技术与反馈控制相结合,在低频范围提供出色的隔振效果

    ·可选电控自动调平系统或机械调平系统,自动调整水平,一键启动减振

    产品应用:

    显微镜、光学设备、检测设备等

    传递率

    规格参数

产品结构说明:


产品特性

1. 安装方便,无需气源,接入电源即可使用;

2. 手动调节水平,操作简便;

3. 模块化的主动减振器,可根据设备重量和尺寸,制作成各种平台;

4. 6自由度振动信号实时检测,执行器提供推力,主动衰减振幅;

5. 实时监控台面振动。

产品应用

显微镜、光学设备、检测设备等




产品特性

1. THA3系列气浮式主动减振,为光刻机等运动平台设备而研发,消减大质量滑块运动带来的振动;

2. 采用三思高端型气浮减振器进行基础隔振,即使在安装现场环境有不规律的冲击振动时,也能确保持续的振动稳定性;

3.三思自研的THA主动减振系统,实现6自由度主动减振。地面振动前馈与反馈控制相结合,提供出色的隔振效果;;

4. 运动前馈与速度反馈控制结合,有效消减平台运动加速度,快速稳定平台振动;

5. 阀控气动调平系统,可自由调整各减振器高度,一键启动减振。

产品应用

半导体设备,及高精度、高速度加速度的精密运动平台等

 

产品用途:

    显微镜、光学设备、检测设备等静态设备或微动设备

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